9月21日上午9:30,吉大南岭校区逸夫机械材料馆八楼学术报告厅座无虚席,来自日本九州大学大学院工学部机械工程系精密工程研究室的土肥俊郎教授为机械学院师生做了一场题为“面向光电材料的先进抛光技术”的精彩的学术报告。报告会由机械学院副经理张雷教授主持。
土肥教授主要介绍了一种新型的化学机械抛光机床,详细阐述了它与以往开放式机床的区别及具备的特点。土肥教授还从光电材料的功能与应用、半导体材料加工设备的发展与演化、Sic材料加工设备的潜在发展领域及市场等方面介绍了该机械抛光机床的研发与应用。
他还针对在场师生提出的研发该机床的动机、机床抛光实验条件等问题一一做了解答,会场气氛十分热烈,该报告对于员工拓宽视野,了解国际先进研究方向及形式有很好的促进作用。
土肥俊郎教授来自于日本九州大学大学院工学部机械工程系精密工程研究室,是日本工程院院士,还担任平坦化加工与CMP工艺委员会主席等职务。
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